Das soll auch mit älteren DUV-Lithografiemaschinen möglich sein, die China weiter kaufen darf. Die Kapazität bleibt dabei allerdings stark beschränkt. (Halbleiterfertigung, ASML)
Das soll auch mit älteren DUV-Lithografiemaschinen möglich sein, die China weiter kaufen darf. Die Kapazität bleibt dabei allerdings stark beschränkt. (Halbleiterfertigung, ASML)