Die Überlegungen werden konkret: ASML arbeitet an EUV-Belichtern mit numerischer Apertur von 0,75. Die Herausforderungen sind immens. (Halbleiterfertigung, ASML)
Die Überlegungen werden konkret: ASML arbeitet an EUV-Belichtern mit numerischer Apertur von 0,75. Die Herausforderungen sind immens. (Halbleiterfertigung, ASML)