Ein norwegisches Start-up sieht in Strahlen metastabiler Atome die Zukunft der Halbleiterfertigung. Das komplexe Konzept könnte EUV beerben. (Physik, Halbleiterfertigung)
Ein norwegisches Start-up sieht in Strahlen metastabiler Atome die Zukunft der Halbleiterfertigung. Das komplexe Konzept könnte EUV beerben. (Physik, Halbleiterfertigung)